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热蒸镀系统

NANO-MASTER的NTE-3000是一款计算机控制的台式热蒸镀系统,广泛应用于有机物和金属的蒸镀。该系统使用2KVA的SCR电路来实现精确的温度控制,这对有机材料蒸发非常关键。系统的设计特别关注在小的占地面积的基础上,实现干净、均匀和可重复的工艺。这是一套具有低成本高品质特性的系统,可满足科研和小规模生产需求。


NTE-4000是NTE-3000热蒸镀系统的独立式配置,提供更大的空间用于更多的选择,如不同的腔体尺寸、基片清洗、冷却、共蒸镀和溅射等功能。另外我们提供NTE-3500紧凑型独立式热蒸镀系统,触摸屏监控屏幕集成于柜体的手臂上,整个主机的占地面积仅26"x26"。

 

我们的热蒸镀系统包含NTE-1000型单蒸发源的台式系统,NTE-3000型的双蒸发源台式系统,NTE-3500型的紧凑型立柜式系统(可支持4个蒸发源,也可扩展支持共蒸镀和溅射能力),NTE-4000型立柜式系统(可支持更多的蒸发源,共蒸发能力,溅射能力,以及共溅射能力)。此外,我们的热蒸镀系统可以跟NANO-MASTER那诺-马斯特的其它任意真空系统组成双系统。

均匀度

  • 特点
  • 选配
  • 应用
** 12英寸钟罩式/10”圆柱不锈钢/14”立方型不锈钢腔体
** 最大7英寸×7英寸方形和直径200毫米圆形晶圆
** 双蒸发源
** 水冷样品台和水冷保护
** 固态开关用于序列蒸镀用
** SCR用于精确控制电流
** 独立蒸发源及基片遮板
** 防交叉污染挡板
** 晶振膜厚监控系统
** 可以以目标膜厚作为工艺的终点条件
** 旋转锁紧件方便装卸片
** 基片旋转
** 闭环蒸镀控制
** 基于计算机全自动控制,菜单驱动
** LabView友好用户界面
** 支持不限数量的程序每程序支持1-100个步骤
** 全自动工艺控制,高重复性
** EMO保护及安全联锁